Призначення
Дослідження фізико-механічних, трибологічних і електричних властивостей матеріалів на субмікронних і нанометровому масштабах.
Нанотвердомер для комплексного дослідження фізико-механічних властивостей в діапазоні навантажень до 100 мН. Нанотвердомер оснащений оптичним мікроскопом і моторизованим предметним столиком для позиціонування об'єкта дослідження. Високий ступінь автоматизації вимірювань дозволяє істотно підвищити продуктивність досліджень.
Застосування:
- наноконструкціонние матеріали;
- тонкі плівки;
- покриття для зниження зносу;
- нанофазни і композитні матеріали;
- ультрадисперсні тверді сплави;
- напівпровідникові технології;
- індентування / дряпання;
- нанотрібологія;
- оптична мікроскопія;
- атомно-силова мікроскопія.
Режими виміру:
- томографія твердості і модуля пружності;
- наноіндентування відповідно до iso 14577 та ГОСТ р 8.748-2011;
- вимір твердості царапанием;
- сканування рельєфу поверхні одночасно з побудовою карт розподілу;
- механічних неоднорідностей;
- вимір жорсткості мікромеханічних конструкцій; вимірювання модуля пружності методом силовий спектроскопії;
- механічні властивості тонких плівок;
- індентування багатофазних матеріалів;
- вимір твердості по зображенню залишкового відбитка;
- механічна нанолітографія.